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超高真空磁控溅射镀膜机

发布日期:2015年01月29日    浏览次数:3157

超高真空磁控溅射镀膜机 

多维科技拥有三台磁性隧道结纳米真空镀膜机,分别为MDT-1,MDT-2,MDT-3。上图为MDT-1。 

  MDT-1超高真空磁控溅射镀膜机,能进行8寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜,该系统拥有700℃以上的温度能力,是目前国际领先、国内唯一的一台高尖端设备。


  MDT-2超高真空磁控溅射镀膜机,能进行8寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜。

 超高真空磁控溅射镀膜机 2号机


  MDT-3超高真空磁控溅射镀膜机,能进行12寸晶圆薄膜金属加工,其最薄厚度能至埃米级别,且能镀膜10种不同金属和非金属材料,多达100层金属薄膜。

  


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