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P-6 探针式轮廓仪

发布日期:2015年01月01日    浏览次数:1847

p-6 探针式轮廓仪 

  P-6探针式轮廓仪是 KLA-Tencor公司设计制造的一种测量物体表面形貌(轮廓、阶高、粗糙度等)的设备。通过仪器的触针与被测表面的滑移进行测量,是接触式测量。其主要优点是可以直接测量某些其他方法难以测量到的器件表面,如凹槽、孔等等。

  得益于KLA-Tencorg公司强大的技术能力,P-6探针式轮廓仪具有低噪高质、高分辨率、长距扫描等显著优势。其主要测量应用包括:薄膜厚度及粗糙度、光刻胶或软性薄膜测量、刻蚀槽深度、器件表面曲率及形状、应力、平坦度等。凭借其强大的应用能力,P-6在半导体领域得到了广泛的应用。


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